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利用真空蒸发方法制备了ZnTe纳米多晶薄膜,并采用双源法对薄膜进行了稀土元素Dy、Pr的掺杂。在自动控温扩散炉中有N_2保护的情况下,分别在300℃、400℃、500℃下对薄膜进行热处理,时间为10min,并采用X射线衍射仪、原子力显微镜对薄膜的物相结构、表面形貌进行了测试,用紫外可见分光光度计对薄膜的光学特性进行了测试,用冷热探针、薄膜测厚仪、四探针电阻率测试仪对薄膜导电类型、厚度、折射率和电阻进行了测试。分析元素配比、热处理温度、掺杂浓度、工艺条件对薄膜物相结构、光学特性等性质的影响。通过分析测