润滑对于机器很重要，润滑油膜可以降低接触零件间因相互运动造成的摩擦和磨损，这层油膜通常很薄，当油膜失效时，接触表面会急剧升温并加速磨损，最终导致机器不能正常工作。因此在线监测油膜厚度并及时预警有着重要的工程实际意义。与电学法和光学法相比，超声测量法没有电隔离和透光的限制，因此有良好的应用前景。但传统测量使用的换能器较为笨重，需要通过在工件表面打孔的方式进行固定。本文对超声波油膜厚度测量方法进行了研究，研究使用磁控溅射法，将AlN压电薄膜沉积在工件表面，实现油膜厚度的非侵入性测量。　　根据垂直入射声波在三层介质中传播的相关理论，建立不同油膜厚度测量的谐振模型和弹簧模型。通过对两种模型进行比较，求得反射系数、声波频率及膜厚的关系，得出不同模型在膜厚测量中的适用范围。　　采用反应磁控溅射的方法在不锈钢上沉积AlN薄膜。设计了AlN薄膜的制备过程，并研究改变溅射功率、基底温度、氮气流量比等工艺条件对AlN薄膜生长的影响。使用X射线衍射仪(XRD)对薄膜结构进行表征，用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌。结果表明增加溅射功率、将N2的浓度控制在30~70％，降低基底的粗糙度等方法有助于取向性AlN薄膜的生长。