有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode,OLED）作为近年来热门的有机光电子器件,拥有蓝光伤害低、光线自然柔和、制备材料绿色环保等优点,故被广泛应用于电子显示与照明领域。尤其是近几年,OLED显示屏已逐渐超越了液晶显示屏,OLED显示技术成为了主流显示技术。在OLED器件中,半透明电极对器件性能好坏影响很大,而电极的性能主要取决于电极的结构和电极材料的选择。因此,探寻OLED器件中性能更优的半透明电极结构和电极材料成为研究的热点。电介质/金属/电介质（Dielectric/Metal/Dielectric,DMD）叠层结构半透明电极在光学、电学以及机械弹性等方面都具有出色的性能,且可选择的金属及电介质材料范围广,本论文选择这种叠层结构电极作为OLED的阳极。此外,过渡金属氧化物三氧化铼（ReO3）对于OLED器件性能影响的研究鲜见报导,故本论文围绕基于ReO3的DMD结构半透明阳极及其对OLED器件性能的影响展开研究。本论文的主要工作包含以下几部分:（1）确定ReO3薄膜制备工艺参数。利用光学显微镜观察ReO3薄膜的成膜性,探索ReO3薄膜的制备工艺。通过实验发现ReO3分子对水分子和氧分子极为敏感,ReO3薄膜容易吸水,暴露在大气环境下时,ReO3薄膜会被破坏。最终确定ReO3薄膜的蒸镀工艺条件和参数为:ReO3材料采用真空热蒸镀制备薄膜时必须充分脱气,脱气过程为缓慢升温至材料的蒸镀速率为0.01（?）/s时,将蒸镀温度下调40℃,并维持该温度两个小时完成脱气。ReO3薄膜蒸镀时的速率为0.2（?）/s,蒸发源温度约为430℃;（2）电子注入层材料的匹配。对比以Li F和Liq为电子注入层的OLED器件,确定Li F作为器件中采用的电子注入材料;（3）采用三氧化钼（MoO3）与三氧化铼（ReO3）两种过渡金属氧化物以及金属Al作为MoO3/Al/ReO3叠层结构半透明阳极,制备结构为MoO3（20nm）/Al（8 nm）/ReO3（X=10,15,20 nm）/NPB（45 nm）/Alq3（60 nm）/Li F（1 nm）/Al（100 nm）的OLED器件,优化ReO3的厚度。测试OLED器件的光学以及电学性能,得到OLED电学性能最佳时ReO3薄膜的最优厚度为15 nm。器件的电流密度最高为497 m A?c m2,亮度最高为161 cd?m2,电流效率和功率效率在数值上皆小于1。MoO3/Al/ReO3叠层结构半透明阳极应用于OLED器件中,器件的性能表现不理想,分析原因为:器件的载流子注入不平衡;Al/ReO3界面反应对阳极功函数有影响;ReO3不能单独使用,需与其他材料掺杂使用。