经过几十年的发展,外表面的薄膜沉积技术取得了长足的进步,已经在生产中得到了广泛应用,取得了巨大的经济效益。但是,在生产实践中以内表面为工作面的工件也同样门类众多,如发动机的缸筒、运输管道、离子加速管、炮筒、内孔模具和轴套等,这些工件经常因内壁磨损、腐蚀等形式遭到破坏,为了提高其工作效率和寿命,在其内壁上沉积耐腐蚀、耐磨、耐高温的改性薄膜仍然是非常必要的技术手段。但是目前关于内壁镀膜的相关报道非常稀少,与内表面服役部件的大量需求相比技术贮备严重短缺,因此发展内壁薄膜沉积技术具有及其紧迫的现实意义。本课题组先期已经对深管内壁沉积硬质薄膜技术做了探索性研究,取得了对深孔镀膜一般规律的认识。本论文将在此基础上,进行深孔模具内壁沉积类金刚石(DLC)薄膜的实验研究。本研究设计了引入高温永磁体磁场来约束等离子体进行实验,使管内部等离子体密度增加,进而提高沉积深度及改善内壁镀膜的均匀性,而后对获得的薄膜进行膜厚、Raman光谱、AFM、硬度等方面的检测分析。实验结果表明,用磁场辅助可以在深孔模具内壁上沉积DLC薄膜：Raman光谱显示在模具内壁沉积的薄膜为典型的DLC薄膜；薄膜厚度曲线显示随孔深度增加薄膜厚度逐渐降低,并会出现薄膜厚度陡降现象；AFM显示随孔深度增加薄膜表面大颗粒数量逐渐减少；纳米硬度显示薄膜硬度在12Gpa左右。通过薄膜厚度的测量,可以看出模具内壁薄膜沉积的深度有明显增加。采用单磁铁辅助内引等离子体时,镀膜有效深径比达到2.0,采用双磁铁辅助内引等离子体时,镀膜有效深径比达到了2.5。通过对模具内壁沉积薄膜的均匀性分析,可以看到模具内壁沉积DLC薄膜的均匀性有很大提高,采用双磁铁辅助内引等离子体时的不均匀度仅为1.8%。