Al2O3薄膜掺碳方法和发光特性的研究

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本文采用二次阳极氧化法用乙醇与草酸的混合溶液制备掺杂碳的纳米多孔氧化铝薄膜。X-光电子能谱仪(XPS)及扫描电子显微镜等结果显示,采用乙醇与草酸的混合溶液制备Al2O3:C的方法可以有效控制掺碳浓度,且掺杂后氧化铝薄膜形貌更规整,有序度更高。通过对比其荧光光谱得出:掺杂后Al2O3薄膜光致发光强度明显提高,且随着碳浓度的增加,Al2O3:C薄膜光致发光峰强度逐渐增强,但并不改变它的光致发光规律,PL峰发光中心都在450nm处,退火温度为500℃时发光强度最强,这为Al2O3薄膜掺杂提供了新的思路。结合红外反射光谱及X-光电子能谱分析了出现上述实验现象的原因。通过对碳掺杂前后Al2O3薄膜热释光曲线的比较发现,碳掺杂后Al2O3薄膜热释光随退火温度的变化而变化,并且当退火温度为500℃时热释光发光峰强度达到最大,热释光曲线在300℃处的发光峰最好,随碳浓度的增加,热释光发光峰强度逐渐增强;未掺杂的纳米多孔Al2O3薄膜热释光剂量响应线性范围是10Gy~50Gy,而Al2O3:C薄膜辐射剂量响应曲线的线性范围明显扩大为10Gy~100Gy。
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