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为改善化学沉积钴基合金的工艺、组织结构和性能，本文进行了稀土元素介入化学沉积钴基软磁薄膜的研究。采用正交化方法，通过极差分析和回归分析确定了化学沉积Co-Ni-P磁性薄膜和Co-B软磁薄膜的工艺。在基础配方上，通过一定方法研究了稀土元素RE(Ce,La,Y)对钴基化学沉积的工艺以及薄膜组织结构和性能的影响。结果表明，稀土元素的独特的4f电子层结构对化学沉积钴基软磁合金改性作用十分明显。但不同稀土元素对镀覆工艺的影响不尽相同，RE添加到镀液中明显提高了镀液的沉积速率、稳定性、镀层与基体的结合力和表面质