作为精密运动的执行机构,压电致动器具有位移分辨率高、频率响应快以及热变形小等优点,广泛应用于微纳制造与精密测量领域。然而,压电致动器固有的迟滞非线性严重影响系统的定位精度。此外,当输入信号的频率增加时,迟滞曲线会变得更加复杂且难以描述。针对这一问题,本文围绕压电微动平台展开研究工作,分析压电致动器的奇异迟滞特性,建立相应的模型与补偿器,旨在解决压电致动器的动态迟滞问题,实现压电微动平台的高精度轨迹跟踪控制。论文的主要研究内容有:（1）针对压电致动器奇异迟滞难以描述的问题,提出一种简单且准确的数学模型。首先,搭建压电微动平台的数据采集系统,测试并研究压电致动器的奇异迟滞特性。然后,以经典Play算子为基础引入上升延迟系数与下降延迟系数,提出一种能准确描述动态迟滞的延迟PI（Delay Prandtl-Ishlinskill,DPI）模型,通过仿真分析两种延迟系数对延迟Play（Delay Play,D-Play）算子的影响。最后,利用差分进化算法（Differential Evolution,DE）辨识模型的未知参数,对比验证DPI模型的性能。实验结果表明,所提出的模型能准确描述压电致动器的动态迟滞特性。为下一步研究动态迟滞补偿提供基础。（2）为抑制压电致动器的动态迟滞特性,设计两种前馈逆补偿器。首先,建立基于延迟Stop（Delay Stop,D-Stop）算子的逆DPI模型,以此构建直接逆（Direct Inverse,D-I）补偿器。然后,针对DPI模型无法求解解析逆模型的问题,推导DPI模型的简化形式——时间相关的PI（Time-dependent Prandtl-Ishlinskill,TPI）模型及其逆解,以此设计解析逆（Analytic Inverse,A-I）补偿器。最后通过仿真与实验验证两种方法的补偿性能。实验结果表明两种补偿器均能有效实现线性化地控制压电致动器,为下一步设计反馈控制器奠定基础。（3）为解决补偿器参数无法针对应用条件变化或参考轨迹实时修改要求进行参数匹配,设计一种参数整定控制器。首先,建立压电微动平台的综合机电动力学模型,并设计一种能实时更新参数的参数整定控制器。然后,通过仿真进行验证,结果表明参数整定控制器能在高频信号下实现参数的实时修改。最后,通过对比实验验证控制器的性能。实验结果表明,参数整定控制器能有效降低动态迟滞与参数不匹配对定位精度的影响,实现压电微动平台高精度定位。