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超精密减振系统是精密制造、测量装备纳米级精度生成的必要保障,为了满足超精密减振系统快速设计的需求，必须对现有的设计经验及数据等进行积累及重用，因此需要开发超精密减振系统专用的设计软件，通过模型重用实现设计、建模及仿真过程的自动化。本文对超精密减振系统的需求进行了分析，通过主被动相结合的减振方式实现其隔振‐定位的复合要求。对空气弹簧等典型被动隔振部件及音圈电机等主动元件进行了动力学特性分析及数学建模；同时，对其控制系统进行了详细分析，通过相对位移反馈实现垂向及水平向的位置控制，通过绝对速度反馈