脉冲激光法沉积镧掺杂钛酸铅薄膜及钛酸锶钡薄膜

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非挥发性铁电随机存储器是铁电薄膜的主要应用之一。但是当前这方面的主要候选材料都存在着一定的不足。近来,掺镧的钛酸铅薄膜(PLT(x),x为镧的摩尔百分比)以其良好的性能引起了研究者的注意,人们设想用它来代替钛酸锆铅在这方面的应用。此外,弛豫现象一直是铁电领域的一个重要课题。然而,对于钛酸镧铅的弛豫型相变的研究大多集中在体材料上,关于其薄膜在这方面的报道尚不多见。 本文采用脉冲激光沉积法,通过对制备过程中各项参数进行优化组合,成功地获得了性能良好的PLT(x)薄膜,并以之为
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