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多自由度超声电机是一种新型的特种电机,具有结构简单、集成度高、小型轻量、断电自锁、不受电磁干扰、多维驱动输出等优点,利用逆压电效应、机械振动、摩擦耦合来转换能量。本文所要研究的是一种具有工程应用价值的多自由度超声电机,由机械结构与电路驱动一体化集成,实现复杂的运动输出。概括起来,主要研究内容包括以下几个方面:设计了一种锥型结构的多自由度超声电机。电机定子采用单足驱动方式,利用四分区的叠层式压电陶瓷作为激励元件,在两路相位差90°的正弦信号激励下,驱动足分别产生沿X-Z平面、Y-Z平面的椭圆运