随着光电子产业的发展，人们把目光投向了有机器件与无机器件的集成方向。无机材料具备稳定性好、低损耗、易封装等优势，有机材料具备柔性、可掺杂、热光系数大、自愈性等优势，把有机材料和无机材料结合起来实现优势互补是近年来研究的热点。本论文主要研究有机无机集成型双层器件，两层材料分别为有机聚合物材料和无机二氧化硅材料，此器件为空间集成和有机无机混合集成奠定了基础。论文主要研究用于雷达系统，特别是光控相控阵雷达的光波导延迟线装置，此装置体积小、重量轻，可提高雷达性能、抗电磁干扰。论文主要包括材料选取、版图设计、器件制备、工艺优化和封装测试。有机材料方面：本论文选择紫外固化NOA材料制备交叉型光波导延迟线，对材料的成膜性进行研究，并对折射率进行拟合，包括NOA61，NOA63，NOA73，NOA74，NOA88。经优化，NOA系列材料的成膜性，均小于1nm。本文采用SU-8等聚合物材料作为波导芯层，PMMA材料作为包层，制备弯曲光波导延迟线器件，对器件进行测试，得到器件的红外输出光斑。为减小器件插入损耗，利用抛光设备，对样品进行端面抛光。研究NOA材料的直接光写入制备波导与纳米压印制备波导。直接光写入时，确定紫外光曝光时间200s，距离掩膜版小于50μm，可直接写入光波导。纳米压印的方法，利用模板，直接压印成型，制备器件的包层NOA63，光固化芯层NOA61，曝光时间200s；可以制备脊型和准矩形波导。无机材料方面：设计并制备了一种高集成度，低成本，低损耗4通道交叉型二氧化硅光波导延迟线阵列。利用BPM软件对交叉结构光波导延迟线的相关参数进行数值模拟，包括：Y分支的损耗，弯曲损耗。综合考虑器件尺寸和损耗参数，设计交叉型延迟线结构的弯曲半径最小为1500μm，引入优化的锥口Y分支结构和垂直相交波导结构。采用半导体制作工艺制备器件，测试得到器件的红外输出光斑，延迟线延迟时间分别为0ps，113ps，226ps和339ps。4通道二氧化硅延迟线阵列，能实现相邻通道相等的延迟时间间隔，且可通过集成实现延迟时间的增加。同时输出端可以与光纤阵列集成。测试方面，搭建延迟装置的测试系统，并利用矢量网络分析仪，分析计算测得器件的延迟时间。最后，讨论有机-无机双层光波导延迟线的可行性方法。使无机延迟线与聚合物光开光集成，完成有源与无源器件集成。在工艺上，讨论在光波导延迟装置上制备有机光开光的可行性。