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微纳米技术及微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System, MOEMS)代表着未来科技的发展趋势。微驱动机构作为MOEMS的重要组成部分,已成为各国学者研究的热点。本文提出了一种新型微驱动技术——光热微驱动技术,设计了多种光热微驱动机构,并采用LIGA(Lithographe Galvanoformung Abformtechnik,德文,可翻译为：同步辐射X光光刻电铸成型)技术加工制备了多种金属光热微驱动器,对其进行了实验研究和探索性应用研究。光热微驱动器