AlGaN/GaN低温无金欧姆接触电极及HEMT器件制备

来源 :华南理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wamaim

【摘要】

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【作者】

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李祈昕

【出处】

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华南理工大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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AlGaN/GaN HEMTs 无金欧姆接触低温合金欧姆前刻槽

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