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本文以磁控溅射和离子束辅助沉积两种方法制备了Me-Si-N薄膜（Hf-Si-N、Zr-Si-N），借助扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、能谱仪（EDS）、X射线衍射仪（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）研究了薄膜的表面形貌、微观组织和相结构；通过纳米力学综合测试系统、摩擦磨损实验、电化学工作站研究了Si元素含量对薄膜的摩擦磨损性能、纳米力学性能及耐腐蚀性能的影响；采用蛋白质表面吸附实验和血小板黏附实验研究了Me-Si-N薄膜对生物医用金属材料表面生物相容性的影响；并通过接触角测试和