聚合物线石英音叉非接触温度传感器的研究

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传感器技术是当今世界高新技术的重要技术基础,也是信息产业三大支柱其中的一个。传感器是高科技技术的尖端产品,特别是广泛地用于日常生活、工农业生产和科学技术等研究领域的温度传感器,数量在各类传感器之中排第一。信息系统的水平直接受到传感器的技术水平的影响。接触式温度传感器通过检测部分与待检测的物体之间的充分接触,通过热对流或者热传导的达到热平衡,从而来反映被测物体的温度。但对于小的目标、运动的物体或者热容量很小的对象,则会产生比较大的测量误差,且其更难在恶劣的工作环境使用。非接触测温虽然可以解决上述问题,但存在分辨率低及精度不高等等不足。因此,亟需开发和研制一种新型低成本高性能的非接触温度传感器。本课题选择对温度高度敏感的聚合物线作为敏感元件,结合对温度不敏感的频率控制器件石英音叉谐振器,研制出一种低成本的聚合物线石英音叉非接触温度传感器。首先介绍了石英晶体压电效应,分析了石英音叉的振动模式及其弹性性质和压电性质与双转角的关系。然后对现有的聚合物材料进行分析,找到了高温度灵敏度的聚合物线敏感元件,并在理论上阐述了其传感机理。在选择合适的晶振后,设计制备了聚合物线石英音叉温度传感器。在弹性动力学和Hamilton原理的基础上,结合相关公式,根据有限元的一般步骤,推导出石英晶体的有限元分析模型。利用有限元的方法模拟分析了聚合物线石英音叉的振动模态。通过有限元建模,从微加工角度分析聚合物线石英音叉的机械结构与谐振频率的关系,完成传感器的优化设计。最后,建立测试系统对聚合物线石英音叉非接触温度传感器的性能进行了评估分析。
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