【摘 要】
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在MEMS器件中,用的较多的构件有薄膜材料,对其力学性能的分析是MEMS器件分析的关键所在。由于受到残余应力,弹性模量的误差,薄膜晶格的各异性,泊松比,微结构的疲劳和破坏韧性
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在MEMS器件中,用的较多的构件有薄膜材料,对其力学性能的分析是MEMS器件分析的关键所在。由于受到残余应力,弹性模量的误差,薄膜晶格的各异性,泊松比,微结构的疲劳和破坏韧性等的影响,实际测量数据和理论公式总存在一些误差。首先本文通过实际测量的数据在Matlab环境下的分析对力与挠度的关系进行了验证。其次通过BP网络和RBF网络对在一组数据进行预测,得到BP网络和RBF网络的对挠度与力的关系预测是可行的,但是RBF网络的预测速率快些,预测结果准确些。再次,利用BP网络对非线性部分进行函数逼近,经过多组数据的大量实验训练,初步得出力与挠度的关系：T=purelin(W2*tansig(W1*P+b1)+b2),这里P,T分别是力、挠度矢量；W1,W2,b1,b2分别是求出的权值,更好的应用了BP网络的这一逼近函数的功能。
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