移相干涉仪中的振动探测及分析

被引量 : 4次 | 上传用户：oo2009123456

【摘要】

：

移相干涉仪对工作环境振动非常敏感,在φ600mm的大口径波长移相干涉仪中,为了减小环境振动的影响,采用了一种改变可调谐激光器的波长来补偿振动带来的影响的主动抗振技术。为了探测出给干涉仪带来影响的环境振动,设计了一个干涉场中的光强探测电路。光强探测电路利用的光电二极管的光电导模式探测光强信号,并将光信号转换成电信号,通过一个同相比例运算放大电路将其放大,输出给后面的处理系统。电路的设计具有噪声低(输

【作者】

：

王聪聪

【机构】

：

南京理工大学

【发表日期】

：

2011年02期

【关键词】

：

移相干涉术主动抗振振动信号探测振动分析

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