论文部分内容阅读
衍射光栅是应用在光谱仪器中最重要的元件之一。随着光谱仪器应用领域的扩展,衍射光栅不仅应用于物质元素的光谱分析,而且在天文学、量子光学、集成光学、生物学、光通讯、化工以及冶金等领域也得到了广泛应用。同时,随着科学技术的不断发展,光栅加工也达到了一个崭新的高度。衍射光栅应用领域的扩展使得制造光栅刻划技术的提高成为目前光栅研究领域的首要任务。光栅面型复杂化,面积增大,刻线密度的提高等均给光栅的制备带来新的挑战,与此同时光栅的质量检测就成为不可或缺的重要环节。对于衍射光栅的检测,测量光栅衍射波面的波