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近年来,随着微型制品和高密度集成电路的迅速发展,薄膜材料的应用日益广泛。同时,超导薄膜以其超导态时响应速度快,灵敏度高,处理速度极快等优点成为超导电子器件的新宠。同时,其在临界状态的突变特性可用于识别微弱信号、其极小的微波表面电阻,可制成多种高性能的电子器件,这些都被应用于各种领域。因此,保证电子器件的优异性能,制备高质量的超导氧化物薄膜显得尤为重要。而在目前被广泛研究的高温超导体系中,Bi系(Bi-Sr-Ca-Cu-O)高温超导有着其他超导体不可比拟的优势：Bi系超导体中不含稀土或有毒元素,相干长