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电子系统快速发展,推动了芯片的多功能化和电路的小型化,并且随着5G技术日趋成熟,电子系统逐渐向兼具多功能集成及小型化特点的微系统和片上系统发展。电感作为电路中的基本元器件,通过集成化减小尺寸、降低制造成本的同时保持较高的性能是必然的趋势。为此,本文采用电子束蒸发法制备NiFe薄膜,并基于此薄膜开展薄膜电感的仿真设计优化研究;在NiFe薄膜方面,重点开展了薄膜工艺技术和各向异性探究;在薄膜电感方面,基于优化的NiFe薄膜性能,构建了平面螺旋线型电感模型,对电感的结构参数进行仿真和优化。首先,探究蒸镀速