【摘 要】
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本文研究开发了以高频等离子体作为热源,用化学气相沉积法合成高纯石英玻璃的实验装置。实验结果表明,作为一种高温纯净的热源,高频等离子体能够提供一个气氛洁净的高温反应
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本文研究开发了以高频等离子体作为热源,用化学气相沉积法合成高纯石英玻璃的实验装置。实验结果表明,作为一种高温纯净的热源,高频等离子体能够提供一个气氛洁净的高温反应环境,在合成高纯石英玻璃方面具有独特优势。设计开发的高频等离子体感应设备的阳极电压范围为10.5～11.5KV,相应的保护气体氧气流量为8～10Nm~3/h,工作氧气流量为3～5Nm~3/h,火焰尾焰的温度场稳定。 液滴生长凝聚动力学的分析表明,等离子体化学气相沉积过程中的颗粒沉积过程分为三个阶段:化学反应阶段,成核阶段,粘附沉积阶段。同时利用热力学数据,计算出在高频等离子体的温度场内,反应系统的化学反应平衡常数。 合成的石英玻璃光谱性能优越,羟基低,紫外透过率高,波长在188～3200nm之间的光透过率均在84%以上。能够满足高技术领域对宽波段光透过材料的需求。
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