基于纵横弯曲的微驱动器分析设计

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【摘要】

：

微驱动器作为MEMS的一个重要分支,近年倍受关注。目前,微驱动器发展的趋势是实现低驱动电压、大驱动位移与快速响应。本文设计的微驱动器,可用于汽车安全气囊感应点火系统、航天器整流罩脱落触发装置、RF微开关、相控阵天线等方面。本文设计微驱动器要求与目的：调节、驱动电压小于等于5V,驱动位移大于等于10μm,并实现快速响应。论文主要包括如下内容：1.基于压杆屈曲、纵横弯曲、静电驱动等原理及MEMS技术,

【作者】

：

阮红芳

【机构】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

：

2012年01期

【关键词】

：

MEMS 微驱动器纵横弯曲温度应力耦合分析

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