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铁磁金属薄膜的微结构和磁特性的研究,是磁学领域的研究热点。该课题的研究既有实际应用价值,又有理论意义。本论文利用对靶磁控溅射法制备了一系列C/Co/C、Ti/Co/Ti、Ti/Ni/Ti、Ti/Fe/Ti等铁磁金属纳米颗粒膜,并利用VSM、XRD和SPM等对材料的磁特性和微结构进行了研究。取得的主要研究结果如下:1.用对靶磁控溅射法制备了类三明治结构C/Co/C纳米颗粒膜,研究了样品微结构和磁性能的时效性。发现在存放过程中,退火和未退火样品的磁性能未被破坏,反而在不同程度上略微有些改善,这对磁记录介质的应用是很关键的。此外,计算了退火样品的磁翻转体积,发现存放使得磁性颗粒的翻转体积减小到原来的0.9倍。2.应用直流对靶磁控溅射设备制备了Ti /Co/Ti系列薄膜,对样品的微结构和磁特性进行了研究。实验结果显示非磁性层Ti层厚度和磁性Co层厚度和退火温度对样品的微结构和磁特性都有很大影响。所有样品中HCP-Co(002)占主要地位。在未退火Ti (5nm)/Co (54nm) /Ti (5nm)垂直膜面矫顽力约2 kOe,这主要是磁晶各向异性的结果。退火使得薄膜颗粒变得细化,降低了薄膜表面的粗糙度,但是退火并没有改善样品的磁特性。3.用磁控溅射设备在玻璃基片上沉积了Ti/Ni/Ti薄膜样品,研究结果表明,在400?C退火条件下,Ti(3nm)/Ni(10nm)/Ti(3nm)薄膜的磁矩主要排列在垂直膜面方向,表现出很强的垂直各向异性,此时垂直膜面矫顽力约1.5 kOe。我们认为,如此大的矫顽力主要来源于应力各向异性。4.应用直流磁控溅射方法成功制备了Ti/Fe/Ti纳米薄膜,发现在退火500℃30min的Ti (16nm)/ Fe (30 nm)/Ti (16 nm)样品中获得了高的垂直膜面矫顽力和剩磁矩形比,分别约为6.3 kOe和0.93。我们认为如此高的垂直矫顽力,主要是颗粒形状各向异性的贡献。退火促进了非磁性的Ti原子进一步扩散进磁性颗粒边界,更好地隔离了磁性颗粒。