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测头是三坐标等精密测量仪器的核心部件，直接关系到测量任务的实现和最终的测量精度。为解决三坐标测量机等精密仪器进行被测工件表面数据点的采样问题，论文将光电技术和数字信号处理技术应用到光纤触发式测头的研制中。主要的研究内容包括：(1)测头结构原理和关键工艺研究。采用的光纤束系统由发射光纤和接收光纤按一定排列方式组合而成，该光纤束系统采用同心分布，中心为发射光纤，四周为接收光纤。该结构在一定程度上可减小传统测头结构造成的各向异性，有助于提高测头的探测重复性。镀膜工艺采用离子束辅助沉积技术。发射光纤