溶胶-凝胶法制备Pb<,1-x>La<,x>TiO<,3>铁电薄膜及其性质研究

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  本文对采用sol-gel法制备Pb1-xLaxTiO3薄膜的工艺进行了初步探索,制备出了光滑均一的PLT铁电薄膜,对PLT薄膜的介电、铁电性能进行了初步分析,并尝试对实验结果做出了解释。在制备溶胶的过程中,发现环境温度,水分,稳定剂的比例以及溶胶的浓度对制备高质量的PLT薄膜有较大影响。在PLT薄膜的后处理工艺上,通过实验发现PLT薄膜在550℃时结晶较好。在PLT薄膜的介电性能方面,发现,随着频率的增加,PLT薄膜的介电常数变小,而介电损耗则先变小,后又增大。另外,PbTiO3过渡层的存在,能够提高PLT薄膜的介电常数,降低PLT薄膜的介电损耗。在PLT薄膜的铁电性能方面,发现,随着La的增大,薄膜的电滞回线逐渐变得窄了,也就是说PLT薄膜的矫顽场、剩余极化随着La的增加而减小。
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