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非晶碳氮薄膜由于具有良好的物理性质而备受关注,在防护涂层、电子学器件以及生物医学等领域有着广阔的应用前景。辐照是常用的材料改性手段之一。本文通过双对向靶直流磁控溅射法制备了非晶碳氮薄膜,并对制备后的样品进行电子束辐照,研究了电子束辐照对薄膜结构和力学性质的影响。结构分析表明,随着氮分压的增大,薄膜中氮含量CN先由8.9%增大至22%,然后逐渐减小,sp3键含量减少而sp2键区域的尺寸和数目都有所增加,薄膜趋于石墨化。经电子束辐照后,由于薄膜表面处发生氮化和氧化,各氮分压条件下制备的薄膜中氮