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共面放电因能产生稳定的薄层等离子体区而在无汞光源，表面改性和等离子体增强的化学气相沉积等方面有着重要的应用。本论文针对其薄膜制备的应用，开展了共面放电反应器的设计和制作研究。制得的共面放电反应器具有放电稳定，均匀，造价低等优点，具有重要的潜在应用价值。利用制作的共面放电反应器，采用等离子体化学气相沉积法对制备TiO_2薄膜进行了探索研究。初步结果表明，当以钛酸四异丙酯作为前驱体时，由于其饱和蒸汽压太低，在现有的实验条件下难以制备大面积均匀的TiO_2薄膜。而当以四氯化钛为前驱体时，