金属有机物化学气相沉淀技术(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD),是一项制备化合物半导体单晶薄膜的技术,主要用于发光二极管的制造。MOCVD设备是光电子行业关键设备。南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心,研发人员历经一年多来的的努力,成功研发出了37x2”GaN基MOCVD设备并投入运行。根据市场变化情况和外延工艺对设备的更高要求,需要在设备的电气控制、反应腔体容量等方面进行优化设计和功能提升。论文的主要任务是研制新机型——61×2”GaN基MOCVD设备完整的电气控制系统。主要完成了基于工业以太网和现场总线网络的MOCVD控制系统的电气总体方案设计：电气及其控制系统的硬件线路设计,主要包括加热电源的主回路和控制回路设计,控制系统主回路和控制回路设计、安全互锁回路的设计；现场总线DeviceNe网络线路设计及软件组态、编程,线路设计主要包括网络的介质选择、网络结构组成、电源选择及在网络上的分配；反应室机械手操作和自动喷头刷的PLC程序设计。自主研制的MOCVD装备控制系统新机型经过了部件单元调试和联合调试,装备运行情况良好,完全能满足外延工艺生产的要求。61片机MOCVD装备的控制系统与37片机相比,其控制系统性能更加稳定,控制更加安全可靠,自动化操作程度更高,制作成本更低。新机型装备的研制为进一步实现国产MOCVD装备的产业化打下了坚实基础。