平面光波导分光器晶片切割加工工艺与技术的研究

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平面光波导分光器(PLC splitter)是当前无源光网络中实现分光的核心部件。其晶片主要成分为二氧化硅,与玻璃、石材和陶瓷一样,属于硬脆性材料,具有良好的耐磨、耐腐蚀、耐酸和耐碱等特性。但因为其脆性大,硬度高,在切割加工时极易发生破碎和断裂,因此其加工机理要比一些普通的材料复杂的多。在切割中,端面崩是极易产生的坏品,严重影响了产品的加工质量。本文对平面光波导分光器晶片的切割加工技术进行了研究。首先对平面光波导分光器晶片切割加工过程中的现状进行了分析,分析了存在的问题,最后,提出了提高金刚石刀具使用寿命及降低坏品率的有效方法。本文的研究是在硬脆材料加工中心MTI NSX-180型精密磨床上进行的。本文通过正交实验研究了机器工艺参数对金刚石刀具磨损量的影响。实验结果表明,影响金刚石刀具磨损量的机器工艺参数包括机器主轴转速、PLC晶片进给速度、切割过程中冷却水的流量,金刚石颗粒的磨损量随主轴转速和冷却水流量的增加而减少,随着进给速度的增加而增加。在金刚石刀具的使用寿命和切割性能研究中,实验结果表明,影响金刚石刀具使用寿命的主要参数包括金刚石的颗粒大小、密度和粘接材料,其中,粘接材料的影响最大,其次是金刚石颗粒大小和金刚石密度。根据实验分析的结果,本文优化了机器参数并选择了合适的金刚石刀具,金刚石刀具的寿命明显提高,坏品率大幅减少,刀具寿命原来150余条增加到接近300条;坏品率由2.1%降到0.8%左右。
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