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紫外照明系统是光刻系统或固化系统的重要组成部分之一。紫外照明系统的目的是为光刻系统或固化系统提供照明,为整个系统提供光源。目前,紫外LED照明系统因为经济环保的特性,逐渐成为光刻系统或固化系统中的主流照明方式。紫外LED照明系统的均匀性,直接影响了光刻以及固化的优劣。本论文对紫外LED照明系统均匀性检测技术进行了研究,开发出一套实时检测的检测系统。本文首先介绍了课题研究的目的和意义,阐述了紫外照明系统的应用领域以及LED紫外照明系统的优点以及发展的趋势,介绍了照明系统均匀性检测研究现状。结合提出的多