【摘 要】
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本课题研究的是应用于紫外可见望远系统的滤光膜,为满足滤光膜的要求,在薄膜设计中对几种常用紫外薄膜材料进行了对比研究,选定高低折射率材料分别为Hf02和MgF2。以膜系设计
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本课题研究的是应用于紫外可见望远系统的滤光膜,为满足滤光膜的要求,在薄膜设计中对几种常用紫外薄膜材料进行了对比研究,选定高低折射率材料分别为Hf02和MgF2。以膜系设计理论为基础,结合针法优化,通过膜堆的叠加展宽了反射带,设计出滤光膜的膜系。在薄膜制备中,通过多次实验,优化各项工艺参数减少吸收情况,使用离子辅助沉积提高了成膜质量,并通过对工艺参数精确控制,提高了膜厚的控制精度。在Φ210mm的石英基底上制备254nm反射率大于95%,280nm-600nm平均透过率大于98%,并满足角度12°-30°的滤光膜。实验结果显示研制的滤光膜满足使用要求。
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