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双介质阻挡放电协同催化以及采用生物技术协同处理高湿度、低浓度有机废气或恶臭废气是当前废气处理领域的热点和难点。本次研究首先比较了当前技术条件下可用于低浓度有机废气处理的不同低温等离子技术优势与不足,选取了双介质阻挡放电低温等离子体技术为研究发展方向。其次采用快脉冲驱动电源驱动双介质阻挡放电模块,实现了高效、均匀的放电效果。通过对放电盘组成材料的选型与结构开发,研制出了自有知识产权的采用微秒级高频快脉冲高压电源驱动双介质阻挡放电系统并实现模块化量产工艺。同时,试制了小型双介质阻挡放电低温等离子体协同催