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氧化钨是一种过渡金属氧化物,在电致变色器件、气敏传感器、光触媒等领域具有广阔的应用前景。氧化钨薄膜透射率变化高,可逆性好,相对价格低,循环使用寿命长且无毒,是研究最早的电致变色材料,同时也是应用最广泛的电致变色材料,可被应用于汽车和建筑物的玻璃上,制造节约能源,调节光线和控制热负荷的智能窗。然而,氧化钨在响应时间、致色效率及循环使用寿命等方面的不足仍制约其实际应用。本研究选择纳米结构氧化钨作为研究对象,分别采用直流掠射角磁控溅射和脉冲掠射角磁控溅射方法,在不同工艺参数条件、不同衬底上成功制备了具有纳