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模数转换器(ADC)是模拟世界和数字世界之间接口的关键器件,被广泛应用于视频、无线通信、军事等领域。随通信技术和微电子技术的迅猛发展,ADC也朝着高速高精度的方向不断发展。由于技术和成本方面的综合原因,商用自动测试设备(ATE)往往会在某些技术指标方面难以满足高性能芯片的测试需求。对于高速高精度ADC的量产测试,商用ATE设备也面临输出采样时钟、信号源线性度等方面难以满足高速高精度ADC测试要求的问题。正是基于这一原因,本文开展了对高速高分辨率ADC测试技术方案的研究。本文以一款分辨率为16bit、最高采样率为10 MSPS的AD7626为测试样片,研究在Teradyne的UltraFlex高端ATE测试平台上进行静态参数和动态参数测试的技术方案。根据被测芯片AD7626的datasheet可知,当输入信号为1Mhz时,其信噪比高达91dB。要完成这一指标的测试,根据理论分析采样时钟抖动必须小于4.5ps。然而,目前高端商用ATE数字通道输出的时钟信号抖动都大于4ps,UltraFlex的数字通道UltraPin800输出时钟抖动甚至达8ps,难以满足被测样片的测试指标要求。为了解决这一问题,本文采用外挂信号源SMA100配合AD9512来提供低抖动的时钟源测试技术方案,实现了0.5ps的低抖动采样时钟,解决了测试过程中对采样时钟的抖动要求。另外,AD7626的积分非线性误差规格为±1.5LSB,而UltraFlex机台上的信号源TurboAC该指标为2.6LSB(等效分辨率为16.7位),如果用斜波直方图法测试DNL/INL不能满足测试要求。由于TurboAC采用诸如过采样、噪声整形等技术,对正弦信号的精度有更好的控制,所以本文采用正弦直方图法取代线性斜波直方图法。测试结果为信噪比：90.7dB,总谐波失真：-85dB,微分非线性：0.28LSB,积分非线性：0.8LSB,显示本文测试技术方案完全可以满足被测芯片的测试需求。