【摘 要】
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该文设计和研究了两种硅紫外光探测器(即UV探测器):浅结UV探测器和网结构UV探测器.其中的网结构UV探测器是由研究人员首次提出的新型UV敏感结构,国内外尚未见同类结构的报道.
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该文设计和研究了两种硅紫外光探测器(即UV探测器):浅结UV探测器和网结构UV探测器.其中的网结构UV探测器是由研究人员首次提出的新型UV敏感结构,国内外尚未见同类结构的报道.相对其它UV探测结构而言,这两种结构具有与硅平面工艺完全兼容,制作成本低,体积小,精度较高,性能可靠的优点.新型网结构UV探测器更具有工艺简单,无需回避高温工艺过程的优点.完成设计后,研究人员对两种结构进行了流水和全面测试,测试结果表明:这两种结构都取得了良好的UV响应和漏电流特性.硅UV探测器课题的研究取得初步成功.该文的工作达到了预期的设计目标,为进一步的研究开发打下了良好的基础.
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