TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)是主流的平板显示技术,TFT-LCD生产设备的技术性能决定着液晶显示面板的生产工艺水平。中航光电子液晶显示面板向小尺寸转型,部分设备的性能不能满足小尺寸面板的工艺技术要求。本文针对真空贴合设备在对应小尺寸面板时面板存在显示漏光和液晶屏气泡的问题,对真空贴合设备工艺流程、真空条件下基板吸附和剥离技术开展研究,做了以下的研究工作:真空贴合制品缺陷分析和新工艺模型建立,论文分析了真空贴合设备结构和工艺原理,提出了表征基板贴合精度的工艺参数,分析了液晶面板显示漏光和液晶屏气泡缺陷产生的原因,建立了新的工艺模型,对真空贴合设备提出了改进的设计方案,并分析了其实现的可行性。基板吸附和剥离单元的设计和可靠性验证,设计新型的粘性橡胶吸附单元和高压气囊剥离单元,通过实验验证了其动作的可靠性,通过制品验证了新型基板吸附和剥离单元不会造成面板不良。定盘和电气系统的设计,设计了SDC(Stick Diaphragm Chuck)基板吸附和剥离单元定盘和电气系统,使其满足基板吸附和剥离动作的要求。控制程序及人机界面设计,设计了控制程序和触摸屏人机界面,使真空贴合设备的动作时序满足新工艺流程的要求。总装及设备性能测试,进行了真空贴合设备总装和系统调试,通过量产测试验证了真空贴合设备改进和新工艺模型的有效性。