超硬纳米复合膜致硬机理的研究

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【摘要】

：

超硬纳米复合膜一般指显微硬度HV≥40GPa的纳米膜,它不具有单层膜的连续柱状晶结构,对硬质膜性能的改善相当明显,具有广泛的应用前景。因此,超硬纳米复合膜的制备已成为人们关注的焦点。在纳米复合膜的制备模式中,一般都采用磁控溅射的方法,以获得纳米氮化物+化合物(TiN/Si3N4,TiN/NV,TiN/NbN,TiC/TiB2等)或纳米氮化物+金属,即nc-MeN/M(nc为纳米晶,Me为Ti、Zr

【作者】

：

穆静静

【机构】

：

北京工业大学

【发表日期】

：

2008年01期

【关键词】

：

多弧离子镀纳米复合膜择优取向晶粒尺寸超高硬度

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