本文主要研究了XY位置系统的运动控制问题。XY平台在现代工业中应用相当广泛，并且随着现代工业的急速发展，工业界对高速高精度加工制造的需求越来越大，在高速运行条件下系统的跟踪误差与轮廓误差控制变得非常重要。许多研究者提出了一些不同的方法有效的针对这些问题。但工业应用中的控制器结构大多被PID控制架构所限制，如何在现有架构下定义并解决这些问题，找到一套系统的方法得到可以接受的控制结果，将是本文尝试的工作。本文将采用基于模型的控制方案，从单轴系统建模开始，先将模型作为多质量系统简化并讨论了模型误差；接着通过两种不同的辨识方法，分别得到了系统模型；然后，基于这个模型及其误差分析，分别使用内模控制和二自由度控制确定了单轴系统的速度环与位置环控制参数，并得到了很好的控制效果；最后，讨论了双轴系统轮廓误差的控制问题，并通过采用交叉耦合控制得到了较好仿真效果。