【摘 要】
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该工作采用蒙特卡罗(MonteCarlo)方法对氮气直流辉光放电阴极位降区内的电子及主要重粒子(N,N,NN)运动规律进行了模拟研究.计算结果很好的描述了各种主要粒子在阴极位降区中
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该工作采用蒙特卡罗(MonteCarlo)方法对氮气直流辉光放电阴极位降区内的电子及主要重粒子(N<,2><+>,N<+>,N<,f>N<,2f>)运动规律进行了模拟研究.计算结果很好的描述了各种主要粒子在阴极位降区中的运动行为及能量、密度特征.为了对实验研究提供一种更可取的氮化物材料合成方法,利用MonteCarlo方法模拟研究了低气压条件下电子束激发等离子体内氮分子分解的机制.得到了在低气压条件下利用电子束激发等离子体的方法可满足分子束外延设备中的高氮分解要求的结论,并由此提出了提供高氮原子密度的合适方法.引入流体(Fluid)模型后,利用MonteCarlo模型全空间描述快电子,Fluid模型全空间描述慢电子和主子,两模型相结合,得到了自恰的氮气直流辉光放电空间带电粒子密度分布及电场、电势分布,且具体研究了放电参数电压、电流密度、气压三者之间的关系及不同放电参数下带电粒子的平均能量、密度分布差异.为了验证结合模型的可靠性,将具体计算结果与实验结果进行了比较.
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