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产品的小型化和精密化,使得人们对表面轮廓形貌测量的要求日益迫切。共聚焦显微技术有效地解决了高分辨率、非接触式测量的问题,能够实现光学层析,并通过计算机合成三维立体图像,从而成为医学、生物学以及工业等领域的重要工具和研究手段。课题“激光共聚焦信号采集及控制技术的研究”是黑龙江省科技攻关项目“多光针表面形貌测量系统”中的一个子课题,主要目标是实现该系统的信号采集和控制技术,并进行了深入的研究。首先对差动激光共聚焦测量系统的原理进行了详细的介绍。设计了差动共焦光电信号探测系统、精密位移测量