四极杆质量分析器是质谱仪中用于离子区分的关键部件,其四根极杆组成的场圆的形位精度决定其物理性能。本文针对四极杆质量分析器研制过程中的关键部件极杆、极座及虑质器场圆的尺寸及形位精度要求,研究其对应的检测方法,用于评定四极杆质量分析器的装配合格性。研究极杆直径在位测量装置,实现在位检测极杆直径,测量不确定度U₉₅=0.2μm（k=2）,实现在位检验极杆的加工精度,提高了极杆的加工质量和效率;研究极杆的圆柱度、直线度等几何参数的离线检测方法及工艺,为极杆合格性验收提供依据。研究极座对径距离在位检测方法,设计出相应的检测装置,测量不确定度为U₉₅=0.4μm（k=2）,实现其在位测量;确定极座三坐标离线检测极座各尺寸、位置的方法和工艺,实现了极座的合格性检验。四极杆质量分析器的场圆状态是决定其质谱好坏的关键,但场圆是由四个极杆组成的虚拟圆柱,该虚拟圆柱的检测工艺方法是评定其状况的唯一有效途径,论文提出四极杆质量分析器的综合精度这一概念来描述该指标,并明确了需要检测的几何量,以及对检测结果进行评价以确定综合精度的方法。依据四极杆质量分析器综合精度的评价方法,研究了对应几何量的检测方法的实现。提出基于直线基准的对径极杆平行度内测装置,其测量结果是四极杆质量分析器场圆的直接反映,适合场径有较大范围变化的场圆测量,可测量不同规格的四极杆质量分析器。经过误差分析、测量装置设计、实现及实验,测量不确定度U₉₅=0.3μm（k=2）,与进口四极杆质量分析器进行比对测量,测量结果一致,验证内测装置测量方法的可信度,已作为四极杆质量分析器的装配合格验收设备。通过论文的研究,确定了四极杆质量分析器从部件到装配组件的全流程关键几何参数检测技术,有效的保证了四极杆质量分析器的质量,质谱测试的结果也进一步验证了几何量检测结果与质谱性能的符合性,有力的指导了四极杆质量分析器的研制。