极紫外光刻技术被认为是下一代最有前途的光刻技术之一。在其关键的EUV光源方面,DPP EUV光源由于其多方面的优点受到国际上的广泛关注。高功率脉冲电源是DPP EUV光源的能量来源,是光源的核心设备之一。本文根据DPP EUV光源实验的需要,研究设计满足一定要求的高功率脉冲电源,为DPP EUV光源的研究做实验装置上的准备。同时,该脉冲电源的研究对于脉冲功率技术在其他领域的应用也具有借鉴意义。首先分析了基于毛细管放电Z箍缩方式的DPP EUV光源的物理过程,计算了通过等离子体的峰值电流及等离子体的阻抗特性,从而明确了脉冲电源的性能指标及负载特性。并对脉冲电源的放电回路进行了仿真分析,为电源的设计提供了依据。在设计前对脉冲电源的关键环节磁脉冲压缩网络进行了理论分析与电路计算。首先从磁芯磁化的角度阐述了磁开关的原理,进而对比了硬磁材料与软磁磁料的磁性特点,为磁开关的磁芯选择提供了依据;接下来分析了磁脉冲压缩网络的工作过程,通过电路计算推导出了磁脉冲压缩网络中关键参数的计算公式。在此基础上设计了脉冲电源主电路的整体结构。其中,高压直流充电环节采用交流调压的充电方式;中间储能脉冲形成环节由谐振倍压电路及脉冲变压器组成;采用三级磁脉冲压缩网络作为脉冲压缩环节。对各环节电路进行了参数计算仿真,进行了关键器件的选择、设计与实验。基于磁开关的等效模型对设计中采用的三级磁脉冲压缩网络进行了PSPICE仿真,得出了不同情况下磁脉冲压缩的仿真波形,为实验调试提供了参考依据。最后采用新颖的放电回路结构对脉冲电源进行了短路放电实验,实验波形显示各级脉冲压缩效果明显,输出峰值电流满足要求,达到了脉冲电源的预期设计指标,验证了设计的合理性。本文设计研究了DPP EUV光源装置中的高功率脉冲电源,初步的设计结果达到了预期的指标。同时,设计过程为即将开始的DPP EUV实验积累了经验。