由于射频空心阴极放电集电子摆和射频周期运动的两种效应,因此有着比直流空心阴极放电高密度和高电离率的优势,人们对其在各方面的应用有了更广泛的研究。在等离子体放电中,带电粒子与电极表面的相互作用会对放电产生影响,例如离子与电极碰撞后会发射二次电子对放电产生影响。传统射频空心阴极放电中,电子几乎不能运动到电极附近,所以电子与电极的相互作用通常被忽略。但是随着人们对放电结构几何尺寸的缩小,电子轰击电极也成为可能,所以电子与电极的相互作用不能被忽略。因此需要将轰击电极的电子以反射或者产生二次电子的方式进行处理,即在放电中设定一个确定的反射系数或电子二次电子发射系数作为输入参数,来描述电子与电极表面发生相互作用后的运动。本文采用2d3v的PIC/MCC模型,对射频空心阴极放电进行了三个方面的研究,分别是电子反射对射频微空心阴极放电的影响、电子反射和离子γ效应对放电的贡献以及电子反射对传统射频空心阴极放电和高气压射频微空心阴极放电的影响。通过研究发现:1.在射频微空心阴极放电中,气压为5Torr时,放电结构为鞘层叠加结构,带电粒子密度受电子反射系数影响很大,粒子能量和电离率等会有不同的程度的增加。特别是,当反射系数大于0.3时,电子反射对放电有更明显的影响。2.当电子反射系数取0.5或电子二次电子发射系数取0.5时,电子反射和电子γ效应对射频微空心阴极放电的影响基本一致。两种情况下(放电中只考虑电子反射或电子γ效应,不考虑离子γ效应)的电子密度比离子二次电子发射系数取0.1(不考虑电子与电极的相互作用)时大6%,比离子二次电子发射系数取0.2(不考虑电子与电极的相互作用)时小6%,所以离子γ效应与电子反射对射频微空心阴极放电的贡献与二次电子发射系数和电子反射系数的选取有关。3.对于传统的射频空心阴极放电和高气压射频微空心阴极放电,放电结构均为鞘层-等离子区-鞘层结构。前者,放电空间大,电子运动到电极的路程长,在电子向阴极管壁运动过程中与背景气体发生大量碰撞,损失能量,几乎没有电子可以运动到阴极电极;后者,由于粒子密度大,电子碰撞率大,能量低,很难运动到阴极管电极。所以两种放电环境下电子反射均对其几乎没有影响,或者说这种影响可以忽略。