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TiO_2作为一种无毒、稳定、廉价的宽禁带半导体是到目前为止制备染料敏化太阳电池(DSSC)光阳极性能最为优良的材料之一。本文采用磁控溅射的方法制备了TiO_2薄膜,并将其敏化制备成DSSC。用原子力显微镜(AFM)、拉曼(Raman)光谱仪、紫外可见分光光度计和太阳能检测仪分别对TiO_2薄膜的表面形貌、晶体结构、光学性质和DSSC的光伏性能进行了检测。研究了溅射功率、氧分压、掺杂等工艺对TiO_2薄膜和染料敏化TiO_2电极结构及光电性质的影响。根据对拉曼光谱、透射光谱和AFM图的分