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铁电材料因其相当优异的铁电、压电等性能被广泛关注。现如今投入生产应用的铁电材料以铅系材料为主,但由于铅元素极易挥发不仅会带来铅空位影响材料性能,而且会造成环境污染并对人类的健康带来危害。BiFeO_3(BFO)高的剩余极化和大的压电响应系数使其非常有希望作为铅系材料的替代品,但纯相BiFeO_3薄膜严重的漏电现象阻碍了它的进一步应用。为得到与铅系材料性能相当的BFO薄膜,研究人员多通过薄膜的掺杂改性提高其性能,研究发现掺杂镧系元素能很大程度上抑制薄膜漏电,且不同的制备工艺参数及衬底的选择将更直接地影