【摘 要】
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由于非球面光学元件在光学系统中具有各种优良性能,所以越来越多的非球面光学元件应用于各种高科技的光学领域。随着非球面光学元件应用领域的拓宽,其加工和检测也就有了更高
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由于非球面光学元件在光学系统中具有各种优良性能,所以越来越多的非球面光学元件应用于各种高科技的光学领域。随着非球面光学元件应用领域的拓宽,其加工和检测也就有了更高的要求。为了制造出高精度的非球面光学元件,必须有与之匹配的检测方法。子孔径拼接检测非球面光学元件是一种高精度、低成本的检测方法。本文针对环形子孔径拼接检测技术做了深入研究。首先对非球面光学元件相关理论和子孔径拼接的基础做了简要介绍。然后介绍了其拼接检测原理,并重点说明了拼接算法和泽尼克多项式拟合的关键技术。之后,针对光学系统中最常用的二次抛物面,对其环形子孔径的划分做了详细推导。最后通过模拟仿真,应用不同的拼接算法,验证了拼接检测的可行性。除此之外,本文最后一章还给出了影响检测精度的相关误差因素,并提出了相应解决办法。
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