【摘 要】
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窄带滤光片作为滤光和选择谱线的器件,在激光技术,医疗,卫星遥感探测以及目前正在飞速发展的光通讯技术中有着广泛的应用。窄带滤光片镀制难度高,成品率低,成本高。本文提出
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窄带滤光片作为滤光和选择谱线的器件,在激光技术,医疗,卫星遥感探测以及目前正在飞速发展的光通讯技术中有着广泛的应用。窄带滤光片镀制难度高,成品率低,成本高。本文提出的窄带滤光片的间隔层干涉级次相对较低,可以极大降低镀制难度和成本。本论文主要研究1064nm窄带滤光片的设计、制备技术及相关测试技术,要求将1064nm的激光高透过,使紫外光、可见光以及近红外的光全部截止。解决的关键问题是通带的半宽度,制备工艺的稳定性和膜厚监控的准确性。根据材料的特性及薄膜的沉积条件选择合适的材料进行膜系设计。在制备过程中采用光控法与晶控法相结合的方法监控膜厚,利用离子辅助沉积系统改善成膜结构,提高膜层牢固性。根据镀膜条件对成膜质量的影响,优化了工艺参数。
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