航空航天发动机的推重比与其热端部件的工作温度密切相关,采用加力燃烧室可大幅提升发动机的性能,由于对航空要求的不断提高,国内外提出航空发动机的热端部件使用新型耐高温纤维增强陶瓷基复合材料(Ceramic Matrix Composites,CMC)和冷却结构(气膜孔冷却)。现阶段常规的机械加工和经典的特种加工无法满足SiC_f/SiC复合材料精密低损伤的二次加工要求。本文提出水导激光加工的方法,利用其激光高效蚀除及水射流快速冷却、冲刷和保护加工材料的特点,对SiC_f/SiC复合材料进行高质量的加工。首先本文对激光与水的耦合装置及调整装置进行设计并通过COMSOL仿真软件分析了耦合腔流场的速度和压力分布,以此为基础搭建了一套主要包括耦合光路、供水系统及加工平台的水导激光加工系统。搭建好加工系统后进行了系统调试,主要对耦合模块进行对中耦合调试并检验耦合质量,提出了稳定水束的判断依据并对耦合失效的原因进行了分析。然后对SiC_f/SiC复合材料的水导激光材料蚀除过程进行了仿真研究,通过扫描电镜和激光热导仪对SiC_f/SiC复合材料进行了结构特性观察和热性能测定,对水导激光加工过程进行了分析,经简化假设和边界条件设定,建立了以傅里叶定律为基础的有限元仿真模型,利用ANSYS软件的生死单元技术进行了材料去除过程的仿真分析,研究了加工形貌的形成过程,通过实际的划切和多点加工验证了仿真模型的正确性。最后本文对SiC_f/SiC复合材料从划槽和打孔两方面进行了水导激光的加工工艺研究,在划槽加工时总结了不同工艺参数对加工结果的影响规律,并提出采用多道加宽的轨迹进行划槽,分析了不同线宽下的加工效果,接着采用多道轨迹进行了SiC_f/SiC复合材料的切断实验,分析了断面加工质量。在划切基础上从加工轨迹和激光功率两方面对SiC_f/SiC复合材料水导激光打孔进行了实验研究。本文搭建以纳秒绿光为激光光源的高耦合水压水导激光加工系统,结合仿真分析与实验研究了SiC_f/SiC复合材料水导激光材料去除过程,探索了SiC_f/SiC复合材料水导激光划切和打孔工艺,对SiC_f/SiC复合材料的高效精密加工有着重要指导意义。