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氧化铁纳米薄膜是一种具有优异光电特性的材料,具有化学稳定性好、储量丰富、成本较低等优势,在催化、电池、传感、磁记录等领域具有广阔的应用前景。氧化铁薄膜的广阔应用前景对其可控制备提出了更高的要求。原子层沉积技术作为制备薄膜的手段,制备的薄膜具有良好的保形性,同时还能在原子尺度上对沉积薄膜的厚度进行精确控制。本文以制备厚度可控的高质量氧化铁纳米薄膜为研究背景,以原子层沉积技术作为制备手段,进行了沉积模式、沉积基底表面状态、循环次数等对比实验,通过扫描电镜、原子力显微镜、光谱型椭偏仪、X射线光电子能谱、X