本文提出了一种“自上而下”的纳米制造方法，该方法可多次区域选择性修饰多种自组装单分子薄膜。通过具有镂空结构的硬掩膜进行深紫外光辐照，一种已生长的单分子薄膜可以被部分去除并在这个区域再次生长另一种薄膜。通过多次重复这种与光刻类似的方法，可以在微通道表面集成多种具有特定图案的纳米薄膜。为了保证微通道内自组装单分子薄膜的质量，在芯片封装前通过气相法完成修饰过程。这项技术的提出使第一次实现了在微通道内集成三种以上自组装单分子薄膜的设想。该方法对于需要在微通道不同区域内修饰不同单分子薄膜的各种表面导流芯片具有重要的意义，例如，可以得到亲/疏油/水等多种功能表面。该方法的可行性已经通过一系列表面导流实验进行了验证，并通过图案化修饰的“双色”单分子薄膜条纹产生了三维螺旋湍流，实现了水油两相溶液的高效混合和液液萃取。　　此外，将表面修饰技术应用到微悬臂梁传感器，并提出了一种新工艺通过双层SOI圆片完成传感器的批量制造，实现了对爆炸物TNT的痕量检测。在不久的将来，表面导流芯片和微悬臂梁传感器将被集成在一个微流体系统中，以适应更多潜在的应用领域。